金融界 2024 年 12 月 16 日消息，国家知识产权局信息显示，扬帆半导体（江苏）有限公司申请一项名为“一种碳化硅 Wafer 加工用陶瓷盘带片自动清洗机”的专利，公开号 CN 119114479 A，申请日期为 2024 年 10 月。
专利摘要显示，本发明公开了一种碳化硅 Wafer 加工用陶瓷盘带片自动清洗机，包括：机架；基座，其可转动的安装在机架上；二流体装置，其设置于基座一侧；清洁毛刷，其设置于基座一侧；氮气喷嘴，其朝向基座；其中，陶瓷盘放置于基座上，陶瓷盘上设置有碳化硅 Wafer，基座朝向清洁毛刷一侧倾斜布置，二流体装置上设置有二流体喷头，二流体喷头朝向基座，清洁毛刷固定安装在第一驱动电机的输出端，二流体装置固定安装在转轴上，转轴固定安装在旋转气缸输出端。本发明相较于现有技术，解决现有碳化硅 Wafer 加工过程中抛光液清洗不及时导致的清洁不彻底、资源浪费的问题。
